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本部分规定了采用光腔衰荡光谱法测定气体中微量水分的术语和定义、方法原理、对仪器的一般要求、试验步骤、结果处理和报告。本部分适用于含量的体积分数为0.2×10-9~20×10-6的气体中水分的测定。不适用于硅烷等遇光照易分解及含有对水的吸收光谱有干扰的组分的气体中水分的测定。
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T3723 工业用化学产品采样安全通则
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